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镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响

李梅晔

李梅晔. 镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响[J]. 分析测试技术与仪器, 2008, 14(2): 120-124.
引用本文: 李梅晔. 镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响[J]. 分析测试技术与仪器, 2008, 14(2): 120-124.
LI Mei-ye. Influence of Coating on the Micro Topography of Sample Observed with FE SEM[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2008, 14(2): 120-124.
Citation: LI Mei-ye. Influence of Coating on the Micro Topography of Sample Observed with FE SEM[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2008, 14(2): 120-124.

镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响

Influence of Coating on the Micro Topography of Sample Observed with FE SEM

  • 摘要: 通过观察场发射扫描电子显微镜下非导电样品镀膜前后纳米尺度的形貌变化,发现镀膜对样品在几个纳米范围内的形貌有一定的影响和遮盖,分析了使用场发射扫描电镜观察样品高倍数形貌时应注意的问题,并给出了获取真实形貌的方法.
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-03-31
  • 修回日期:  2008-05-16

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