扫描电镜中背散射电子成像功能的应用

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扫描电镜中背散射电子成像功能的应用

冯善娥, 高伟建

文章导航 > 分析测试技术与仪器 > 2015 > (1): 54-57

冯善娥, 高伟建. 扫描电镜中背散射电子成像功能的应用[J]. 分析测试技术与仪器, 2015, (1): 54-57.

引用本文:

冯善娥, 高伟建. 扫描电镜中背散射电子成像功能的应用[J]. 分析测试技术与仪器, 2015, (1): 54-57.

FENG Shan-e, GAO Wei-jian. Application of Back Scattered Electron Imaging Function in Scanning Electron Microscopy[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2015, (1): 54-57.

Citation:

FENG Shan-e, GAO Wei-jian. Application of Back Scattered Electron Imaging Function in Scanning Electron Microscopy[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2015, (1): 54-57.

冯善娥, 高伟建. 扫描电镜中背散射电子成像功能的应用[J]. 分析测试技术与仪器, 2015, (1): 54-57.

引用本文:

冯善娥, 高伟建. 扫描电镜中背散射电子成像功能的应用[J]. 分析测试技术与仪器, 2015, (1): 54-57.

FENG Shan-e, GAO Wei-jian. Application of Back Scattered Electron Imaging Function in Scanning Electron Microscopy[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2015, (1): 54-57.

Citation:

FENG Shan-e, GAO Wei-jian. Application of Back Scattered Electron Imaging Function in Scanning Electron Microscopy[J]. Analysis and Testing Technology and Instruments, 2015, (1): 54-57.

扫描电镜中背散射电子成像功能的应用

冯善娥¹,
高伟建¹

苏州大学分析测试中心, 江苏苏州 215123

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出版历程
- 收稿日期: 2014-12-02
- 修回日期: 2015-01-12
- 刊出日期: 2015-04-04

Application of Back Scattered Electron Imaging Function in Scanning Electron Microscopy

FENG Shan-e¹,
GAO Wei-jian¹

Analysis and Testing Center, Soochow University, Suzhou 215123, China

摘要: 简单介绍了扫描电镜背散射电子成像的工作原理及其应用. 利用扫描电镜背散射电子成像结合X-射线能谱来研究样品的微区成分变化,从而快速的了解样品的组成和结构特征,为物相的鉴别提供了有效的分析手段.
- 扫描电镜 /
- 背散射 /
- 成分衬度
Abstract: The basic principle and application of the back scattered electron (BSE) images of scanning electron microscope (SEM) is described. BSE imaging combined with X-ray energy dispersive spectrum of SEM was used to study the composition changes in the micro areas of samples, so as to understand the composition and structure characteristics of samples in a short time, thus providing an effective analysis method for the phase identification.
- scanning electronic microscopy /
- backscattered electron image /
- composition contrast

参考文献(5)

侯贵华,李伟峰,郭伟,等. 用扫描电镜的背散射电子像分析转炉钢渣中的矿物相[J].材料导报, 2008,(2):208-211.

郭宁, 黄天林, 周正, 等. EBSD技术结合背散射电子成像在材料研究中的应用[J]. 电子显微学报,2010,29(1):736-739.

周丽花. 背散射电子成像技术在氧化铈陶瓷低温烧结研究中的应用[J]. 分析仪器,2013(1):52-56.

吴玖,丰涵. 利用背散射技术观察25Cr超级双相不锈钢中的金属间相[J].不锈钢世界,2009(6):10-11.

张清敏,徐濮. 扫描电子显微镜和X射线微区分析[M]. 天津:南开大学出版社,1988:14-16.

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